
Исследователи из Китая создали источник лазерного излучения в сверхжёстком ультрафиолетовом диапазоне для суверенной EUV-литографии. Это достижение открывает путь для развития китайской полупроводниковой промышленности. Успех стал возможен с помощью бывшего инженера ASML, что дало Китаю шанс выйти на новый уровень в производстве полупроводниковых компонентов.